成功研制成功的高速晶圆复卷机可以满足14nm工艺的要求

近日，北京精益自动化设备技术有限公司自主研发了高速集成电路制造晶圆复卷机。每小时超过300个晶圆的复卷速度指数已达到国际先进水平。
它可以用于14纳米集成电路制造，突破了国际标准。垄断。
21ic家族了解到，晶圆倒片机是集成电路制造中的重要设备，尤其是高速晶圆倒片机，长期以来，这些晶圆倒片机一直依赖于海外进口。这次，经一科技自主研发的高速集成电路制造晶圆复卷机达到每小时300多个复卷速度，达到国际先进水平，成为国内第一台高速集成电路制造晶圆复卷机。
它可用于14纳米集成电路制造，打破了国际垄断。据悉，精益设备是北京经济技术开发区中国半导体辅助设备研发与制造的领先企业，专注于高端半导体设备的开发，并不断整合和发展。
发展高科技产业的战略地位和竞争优势。经过多年的技术积累和技术研究团队的多次试验，精益设备克服了行业中的许多技术难题，获得了4项发明专利，并在中国开创了高速集成电路制造晶圆复卷机。
经研发完成后，京仪设备开发的第一台四级高速集成电路制造晶圆复卷机已获得订单，并已交付集成电路制造商进行应用。